π
π» ΠΠ½ΡΡΠΈΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠ·Π²Π°Π» Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠΈΡΡ ΠΏΠΎΡΡΠ°Π²ΠΊΠΈ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π΄Π»Ρ DUV-Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π² ΠΠΈΡΠ°ΠΉ
πΉπΌ Π’Π°ΠΉΠ²Π°Π½Ρ β Liberty Times
ΠΠΌΠ΅ΡΠΈΠΊΠ°Π½ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΡΠΊΠΈΠΉ ΠΈΠ½ΡΡΠΈΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠ·Π²Π°Π» ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡΡΡ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠΈΡΡ ΡΠΊΡΠΏΠΎΡΡ Π² ΠΠΈΡΠ°ΠΉ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΠΈΠΌΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ Π³Π»ΡΠ±ΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠ»ΡΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ»Π΅ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ (DUV) Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ. ΠΠ½ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΠΎΠ²Π°Π» ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠΈΡΡ ΠΏΠΎΡΡΠ°Π²ΠΊΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΡΡΡΠΈΡ
ΠΈ ΡΡΠ»ΡΠ³ΠΈ ΠΏΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ»ΡΠΆΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ.
ΠΠΎ ΠΎΡΠ΅Π½ΠΊΠ΅ ΠΈΠ½ΡΡΠΈΡΡΡΠ°, ΠΊ Π½Π°ΡΠ°Π»Ρ 2026 Π³ΠΎΠ΄Π° ΠΊΠΈΡΠ°ΠΉΡΠΊΠΈΠ΅ Π·Π°Π²ΠΎΠ΄Ρ ΠΏΡΠΈΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΡΡ 343 ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΈΠΌΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΠ£Π€-Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ. ΠΠ· Π½ΠΈΡ
270 β ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ Twinscan NXT:1980i ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ ASML. Π 2024 ΠΈ 2025 Π³ΠΎΠ΄Π°Ρ
Π·Π°Π²ΠΎΠ΄Ρ ΠΏΠΎΡΡΠ°ΡΠΈΠ»ΠΈ Π½Π° ΡΡΠΈ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 13 ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠ°ΡΠ΄ΠΎΠ² Π΄ΠΎΠ»Π»Π°ΡΠΎΠ².
ΠΠΊΡΠΏΠΎΡΡΠ½ΡΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ, Π²Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΠΉ Π‘Π¨Π, Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ°Π΅Ρ ΠΏΠΎΡΡΠ°Π²ΠΊΠΈ Π² ΠΠΈΡΠ°ΠΉ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ΅Ρ
Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΡΡ
ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΊ Π΄Π»Ρ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π² ΡΠΊΡΡΡΠ΅ΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠ»ΡΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ»Π΅ΡΠΎΠ²ΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ (EUV). ΠΠΌΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ DUV ΠΏΠΎΠ΄ ΡΡΠΈ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π½Π΅ ΠΏΠΎΠ΄ΠΏΠ°Π΄Π°Π»ΠΈ, ΠΈ ΠΊΠΈΡΠ°ΠΉΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ
Π΅ΠΌ ΡΡΠ°Π»ΠΈ Π½Π° Π½ΠΈΡ
ΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°ΡΡΡΡ. ΠΠΎΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Π½Π°Ρ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ Π²ΡΠΏΡΡΠΊΠ°ΡΡ 7-Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ²ΡΠ΅ Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ
Π΅ΠΌΡ ΠΈ ΠΏΠ°ΠΌΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΠ-ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠΎΠ², Π² ΡΠΎΠΌ ΡΠΈΡΠ»Π΅ ΡΠ΅ΡΠΈΠΈ Ascend ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ Huawei.
ππ» ΠΠΎΠ²ΠΎΡΠΈΡ ΠΠ»Π°Π½Π΅ΡΠ°